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Mit Synchrotronstrahlung kleinste Verschmutzungen auf Halbleitern entdecken

  • admin
  • 10. Juli 2008 um 09:40
1. offizieller Beitrag
  • admin
    Anfänger
    Reaktionen
    18
    Beiträge
    3.106
    • 10. Juli 2008 um 09:40
    • Offizieller Beitrag
    • #1

    PTB forscht mit europäischen Partnern im Bereich der HalbleiteranalytikKleiner, präziser, leistungsstärker und billiger - das ist die Erfolgsformel der Mikro- und Nanoelektronik. Miniaturisierung spielt heute eine entscheidende wirtschaftliche Rolle und trägt maßgeblich zu den Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts bei; doch je kleiner die Strukturen, desto anfälliger sind sie für minimale Verschmutzungen. Im Rahmen des europäischen Kooperationsprojekts ANNA arbeitet die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) in ihrem Laboratorium am Elektronenspeicherring BESSY II in Berlin erstmals gemeinsam mit externen Nutzern an ausgewählten Messplätzen für die Nutzung von Synchrotronstrahlung. Die internationale Zusammenarbeit unter dem Dach von ANNA soll europaweite Forschungskompetenz bündeln. In diesem Fall geht es um Erkenntnisse über die physikalisch-chemischen Eigenschaften von Halbleiteroberflächen und Nanoschichten sowie die weitere Entwicklung von referenzprobenfreien Analysemethoden zur Bestimmung der Oberflächenkontamination und Schichteigenschaften.

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