- Offizieller Beitrag
Die Mikrosystemtechnik ist in vielen Systemen wie Sensoren, Aktoren, Fluidik und hochintegrierter Elektronik etabliert. Doch die Reise geht weiter - inzwischen geht man vom Mikrobereich hinein in Nano-Dimensionen. Die Nanotechnik eröffnet neue unerwartete Materialeigenschaften, die von mechanischer, optischer, elektrischer oder elektronischer Natur sind bzw. spezielle Oberflächeneigenschaften zeigen. Wie können nun die neuen Er-kenntnisse in Mikrosystemen und in der Makrowelt genutzt werden? Genau dies ist die Aufgabenstellung der Nano-Mikro-Integration.